半導体用語集
COO
英語表記：cost of ownership
半導体デバイスの生産において、装置の生産性をあらわす基準のひとつ。基本的にはウェーハ1枚あたりの処理費用という形で産出するが、装置本体の価格、償却費用、設置面積、用役設備工事費用、スループット、消耗品費用、保守費用、ウェーハ処理費用、欠陥密度、歩留りを加味して算出する米国セマテック（SEMATEC）のモデルが一般的である。
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