半導体用語集
アライメントスコープ
英語表記：alignment scope
ウェーハ上のアライメントマークとレチクル上のアライメントマークを同時に離れた2点を計測し、ウェーハとレチクルのXY方向の誤差と回転ズレを観察する、2眼の顕微鏡。
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