半導体用語集
パルスレーザ露光
英語表記：pulse laser exposure method
KrFのエキシマレーザに代表される間欠発光のレーザ光源を使用した露光。高圧水銀灯のi線、g線などの連続発光の光源を使用する露光方法と区別する用語。
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