半導体用語集
後段加速方式
英語表記：post acceleration
質量分析計の手前で20~40keVの低加速エネルギーを与えたイオンビームを、質量分析系の後で必要なエネルギーまで加速する方式。後段加速方式は小型の質量分析マグネットで、より高いエネルギｰの注入を実現できる。
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