半導体用語集
化学吸着フィルタ
英語表記：chemical filter
主に気中の塩基成分を除去するフィルタで、化学増幅型レジストを処理する塗布現像装置に装着され、装置内の清浄化を図る。
化学増幅型レジストは、現像液溶解特性の選択性を持たせる反応種にプロトン酸を用いているため、レジスト塗布膜近傍の雰囲気に塩基性物質が相当量存在すると、反応種が失活しTー Toppingと呼ばれる庇状のレジストパターン解像不良が発生する。汚染物の吸着方法には、酸との中和反応や、イオン交換反応を用いたものがあり、構造の最適化により高機能化、長寿命化が図られている。
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