半導体用語集
化学吸着フィルタ
英語表記：chemical air filter
化学増幅型レジストを用いたプロセスにおいて、空気中の塩基成分（特にアンモニア）による解像不良（T-Top）を回避することを目的とした空気清浄フィルタ。吸着方法には、酸との中和反応や、イオン交換反応を用いたものがある。
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