半導体用語集
NDウェーハ
英語表記：neutro transmutation dopingwafer
シリコン結晶に中性子を照射、Si30の一部をP31に置換し、シリコンの低効率を制御した基板。NTDウェーハと同意語。ウェーハ面内及びインゴット全体を均一な低効率に制御できることを特徴とする。
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