半導体用語集
反応副生成物
英語表記：reaction byproducts
薄膜材料が成膜のためのエネルギーにより、所望の薄膜以外の副次的物質を生成する。反応室構成部品、排気管部などに付着し、詰まり、パーティクルの発生原因となり、歩留まりの低下を来たす。
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