半導体用語集
エアフロー
英語表記：air flow
半導体製造装置内部に強制的に発生させたクリーンエアの流れ。ウェーハ面に水平でパーティクルの付着を防止する流れが好ましい。
関連製品
アジア太平洋地域のエアフローセンサ市場規模、シェア、成長、メーカー 2033年
KD Market Insights Private Limited
アジア太平洋地域のエアフローセンサー市場は、年平均成長率5.5%で成長し、2033年までに19億米ドルに達する見込みです。
技術／特許／M&A › 技術 › 半導体（素子・構造・回路など）
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「エアフロー」に関連する用語が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
