半導体用語集
SECS
英語表記：SEMI Equipment Communications Standard
SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）が標準化した通信規格であり，SECS-Ⅰ,SECS-Ⅱの二つがある。
SECSは，1977年頃にHP社が自社内で使用していた通信規格がベースになっている。その後，1979年にSEMIが環準化のテーマとして取り上げ，1980年にSECS-Ⅰ，1982年にSECS-Ⅱを標準化した。
SECS-Ⅰは，半導体装置とホスト間の通信インタフェースを定義した。さらに，SECS-Ⅱは，半導体装置に要求されるメッセージを定義した。
SECS-Ⅰのプロトコルは，RS-232Cによるシリアル通信であり，大量のデータやメッセージの転送には不向きである。そこで，SECS-ⅡはSECS-Ⅰの欠点を改良し，SECS-Ⅰや他の情報転送プロトコルと両立可能な通信規格とした。
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