半導体用語集
GEM
英語表記：Generic Equipment Model
SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）が標準化している通信規格の一つである。SECS-Ⅰ，SECS-Ⅱ規格の上位概念として1993年に標準化された。
GEMは，SECS-Ⅰ，SECS-Ⅱの問題を改良している。すなわち，半導体製造装置とホストコンピュータの状態やメッセージを定義することにより，設計者間，半導体製造装置間でメッセージと通信タイミングを明確にした。具体的には，以下の五つの内容を含んでいる。第一は，ホストコンピュータよりみた半導体製造装置の動作モデル。第二は，半導体生産工程で必要とされる情報とコントロール機能。第三は，半導体製造装置に一般的に必要となるSECS-Ⅱメッセージ。第四は,SECS-Ⅱでは複数の方法を取りえた定義を，単一で矛盾ない方法で定義。第五は，半導体製造工程における標準的なメッセージの対話シーケンス。
GEMにより，装置メーカーは，多くのユーザーを対象とした通信インタフェースを効率的に開発できる。また，装置ユーザーは，半導体製造工場を自動化するために，標準化された通信インタフェースを搭載した装置を低価格，短納期で入手でき，かつ迅速に自動化できる。
GEMは，米国半導体装置メーカーを中心に使用されている。すなわち，国内製造装置メーカーの国内仕様の対応は，まだ少数である。
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