半導体用語集
差圧検出器
英語表記：differential pressure sensor
2点間の被測定圧力の導入差圧によるダイヤフラムの変位を半導体ひずみゲージで検出し、所定の出力信号に増幅して、差圧に比例した電気信号を出力する装置。
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