半導体用語集
オージェ電子分光法 AES
英語表記：auger electron spectroscopy
高エネルギーの電子線によるイオン化を通じて励起された原子は電磁放射を伴わず緩和してオージェ電子を放出するが、オージェ電子のスペクトルを測定することによって試料表面近傍に存在する元素を分析する方法。
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