半導体用語集
プロセスシミュレーション
英語表記：process simulation
半導体素子製造工程で酸化や拡散などの熱処理によりシリコンウェーハは物理的、化学的に変化するために、ウエーハ製造工程で素子製造工程に近い熱処理を行い素子の製造工程に対応したシリコンウェーハの仕様を決めるために使われるモデル熱処理。
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