半導体用語集
プロセスチューブ
英語表記：process tube
熱処理装置において、直接その内部に高純度ガス等を導入しウェーハを処理するためのチューブの総称。主に高純度石英ガラスが使用されるが、高温プロセス用としてはシリコンカーバイト（SiC）が使用される。
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