半導体用語集
制御空気源装置
英語表記：control-air source equipment
空気シリンダ式自動弁、調整弁、空気式調整計などの操作に用いる圧力空気を製造する装置。主にコンプレッサ、空気槽、除湿器、減圧弁などから構成される。
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