半導体用語集
スラリー
英語表記：slurry
化学反応性物質を含む研磨剤で、被研磨材料に応じてさまざまなケミカル溶液や研磨砥粒が使用される。
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世界のSicウェーハ研磨市場は2023年に4億米ドルと評価された。同市場は2024年から2033年にかけて年平均成長率39%で拡大し、2033年末には30億米ドルを超えると予測されている。
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