半導体用語集
ファセット
英語表記：facet
理想的な平衡状態での結晶表面では、原子的な視野で見た場合、荒れた面と平滑な面に区別される。ある包囲の面が、平滑な面から荒れた面に変わることを、ラフニング転移（roughening transition）、逆の場合をファセッティング転移（facetting transition）と呼び、平滑な面をファセットと称する。ファセットは、多少の凸凹はあっても、界面は基本的には一つの原子面にある。実際のシリコンウェハは、主に（100）面と（111）面が使われているが、Jackson理論に基づくαを求めると、（100）面ではα
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