半導体用語集
広がり抵抗法 SR
英語表記：spreading resistance method
抵抗率ρの半導体中へ点接触の針先から電流I-Rsとなり、このRsを広がり抵抗という。電流は針先から半導体中へ急速に広がるため、電圧降下は針との接触面近傍でほとんど生じる。この原理を利用して、Siウェーハの表面近傍の抵抗率を測定する方法。
関連製品
「広がり抵抗法 SR」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「広がり抵抗法 SR」に関連する用語が存在しません。
「広がり抵抗法 SR」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
