半導体用語集
イオン注入装置
英語表記：ion implanter
通勤エネルギーをもったイオンを照射して、試料の物性を制御するための装置。イオン源、引出電極系、質量分析系、注入室などにより構成される。
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半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 不純物導入装置（拡散装置は成膜装置内） › 高エネルギーイオン注入装置
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