半導体用語集

SOI

英語表記：Silicon on Insulator

Siのデバイス作製層の下部にSiO2層を挟んだSi基板をSOI（Silicon on Insulator）と呼ぶ。SOIは、アイソレーションが簡単で寄生容量が少なく高速動作が可能なので一部で用いられてきた。さらにSi層を極めて薄く（10nm程度）するとチャネル不純物を導入することなく短チャンネル効果を抑制でき、高性能MOSが実現できる。SOIの製法の内、Unibond法を下に示す。SOIウェハは、LSI用だけでなく、MEMSや裏面照射イメージセンサーなどにも用いられている。


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