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機能的な共ドープSi ナノトランジスタにおけるSOI 薄膜の解析

グローバルネット株式会社
最終更新日: 2024年08月29日

静岡大、浅井 玲音

ナノ構造

基本情報

 Siトランジスタはナノメートルスケールに縮小され、電子輸送は分子・原子レベルへと進化している。PドープされたSOI-FETsでは、ドナー量子ドットを介した単一電子トンネリング(SET)が室温でも動作することが確認されましたが、収率は低かったです。収率を向上させるため、Pドーピング後にBドーピングを施した共ドープSOI-FETsが作製され、低温でも高いSETデバイスの収率が観察された。これは、PドナーにBアクセプターを導入したことが影響したと考えられた。さらにチャネル幅90nm以下のデバイスでクーロンギャップが確認され、SETの動作が示された。ホウ素の影響を解明するため、THzビームラインを用いたエネルギースペクトルの分析も行われた。この研究は原子レベルでの電子輸送特性を理解する上で重要な進展である。

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グローバルネット株式会社

業種:産業用電気機器  所在地:東京都 中央区湊 1-2-10 堀川ビル6F

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グローバルネット株式会社(GNC)は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。

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