自己の製品一覧
300～600 ℃の低温処理用ミニマルレーザ加熱装置の開発(Ⅲ)
グローバルネット株式会社
ミニマルファブ推進機構、佐藤 和重
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MEMS デバイス適用へ向けた極厚膜低ストレスLPCVD Poly-Si 膜の膜厚方向の電気抵抗評価
グローバルネット株式会社
国際電気株式会社、莆田燕
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ヘリウムイオン顕微鏡技術による極薄シリコンナノシートへの直接ナノ加工
グローバルネット株式会社
産総研、森田 行則
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機能的な共ドープSi ナノトランジスタにおけるSOI 薄膜の解析
グローバルネット株式会社
静岡大、浅井 玲音
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pnトンネルダイオードのための共ドープ超薄膜SOI 絶縁体層の解析
グローバルネット株式会社
静岡大、増井 駿
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SOI SiSi 薄膜SOI MEMS用基板ウエハー ファウンドリーサービス
100-200mmの貼付ウエハー（SOI,SiSi）や誘電体分離や高アスペクト比の深いトレンチエッチなどカスタム品を提供します
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