カテゴリー
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- センサ（温度、湿度、圧力、流量など）
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- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
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- エッチングガス
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- 接着剤 接着テープ
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- はんだボール
- 封止樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング／ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
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- フォトレジスト、現像液
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- 液晶材料
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- ポリイミド樹脂
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- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL材料（蒸着用）
- 蒸着材料
MEMS デバイス適用へ向けた極厚膜低ストレスLPCVD Poly-Si 膜の膜厚方向の電気抵抗評価
株式会社KOKUSAI ELECTRIC、鋪田 嚴
MEMS
基本情報
MEMS慣性センサーの製造において、SOIウェーハの代わりにエピタキシャル成長した厚膜poly-Siが使用されている。このEpi-poly-Siは枚葉処理によるスループットの問題を抱えているが、LPCVDを用いたバッチ処理によるPoly-Si膜の開発が進んでおり、結晶成長を阻害する層（ILIS）を挿入することで、低ストレス勾配と低膜ストレスを実現している。ILIS構造では、阻害層の挿入による膜厚方向の抵抗率の増加が懸念されたが、実際には0.1 Ωcmのわずかな増加に留まり、これは結晶粒径の違いによるものと考えら、この技術は、MEMS慣性センサーの性能向上に寄与する可能性がある。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 中央区港 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。
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