半導体用語集
電子ビーム アニール装置
英語表記：electron beam annealer
高エネルギーの電子ビーム照射によりウェーハの表面又は、ウェーハ上に形成した薄膜を局部的に短時間で熱処理する装置。電子線の照射方式によりパルス電子ビームアニール装置、CW電子ビームアニール装置に分けられる。
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