半導体用語集
薬品濃度計
英語表記：chemical concentration meter
現像液やエッチング液の成分濃度を自動的に測定する分析装置。測定成分として、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド濃度、硝酸と塩酸、酢酸とりん酸などを同時に測定するもので、電気伝導度法、超音波法、近赤外線吸収法、滴定法などを用いる。
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