半導体用語集
パラレルビーム
英語表記：parallel beam
イオンビームをスキャンして注入する場合、ウェーハ表面へのイオンの入射角度がウェーハ前面において、同一であるイオンビーム。二次元的にパラレル化してスキャンする方式と一次元的にパラレル化するハイブリッド方式とがある。これに対してパラレル化せず、非並行のまま照射する方式をアンギュラスキャンといい、ウェーハへの照射角度をスキャン角と呼ぶ。
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