半導体用語集
省レジスト技術
英語表記：reduced resist consumption
ウェーハ一枚当たりに使用されるレジスト使用量を消滅させる技術。有機溶剤をウェーハに滴下した後、引き続きレジストを吐出する手法や、ウェーハ回転数や回転加速度だけを制御する手法もある。
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