SECS（semiconductor equipment community standard） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：semiconductor equipment community standard

半導体製造装置と工場のホストコンピュータを通信回線を介して相互接続する規格。SECSⅠ、Ⅱ
でハードウェアI/F、基本手順と、交換するメッセージの内容をそれぞれ規定している。SEMI E4及びE5としてSEMIより発行されている。