半導体用語集
自動排熱機構 オートダンバ
英語表記：automatic exhaust air mechanism
バーンイン中又は、バーンイン終了後において被試験デバイスからの発熱及びチャンバ内に蓄積された熱を自動的にチャンバ外に排出し、チャンバ温度をコントロールする機能。
関連製品
「自動排熱機構 オートダンバ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「自動排熱機構 オートダンバ」に関連する用語が存在しません。
「自動排熱機構 オートダンバ」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
