半導体用語集
抵抗加熱真空蒸着装置
英語表記：resistance heating evaporation system
W、Ta、Mo等の高融点物質でできたヒータやBNなどのコンポジット材に通電して直接、蒸発材料を加熱蒸発させる直接加熱式装置と、ルツボと発熱体から構成される間接加熱式装置に分類される。真空蒸着装置の内、最も簡単で、エネルギー的にも穏やかな状態を利用する特長を持つ。
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