半導体用語集
パッケージ関連の故障メカニズム
英語表記:failure mechanism related to paskaging
半導体デバイスをチップ部とパッケージ部に分けて.ここではパッケージ部の故障メカニズムをみていく。最近はチップとパッケージが一体となった実装形態も増えてはいるが,基本的なところはこの分類に従って考えればよい。ここでは.故障メカニズムという言葉は,故障メカニズムのうちの最も重要な現象という意味で用いている。
基本的に不良の原因となるものは,ほとんど故障の原因ともなるので共通のものが多い。
パッケージ関連の故障メカニズムをダイボンディング(チップマウント)に関するもの,ワイヤボンディングに関するもの,パッケージに関するもの,実装に関するものと四つに分けて,その主なものを列挙してみる。ダイボンディングに関するものとしては,チップクラック,チップ剥がれ,熱疲労による前述二つの現象の進行などがある。ワイヤボンディングに関するものとしては,疲労による断線,金とアルミの合金化に伴うボイドの形成,位置ずれなどがある。パッケージに関するものとしては,クラック,電気化学的マイグレーション,表面汚染,異物付着,機密封止不良,導電性浮遊異物などがある。実装に関するものとしては,はんだ付け不良,ポップコーン現象(パッケージ中の水分が実装時に気化し,破裂したりクラックが入ったりする現象)などがある。
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