半導体用語集
電子ビーム露光によるマスク製作
英語表記：
マスクの製作には、一般に電子ビーム露光機が用いられる。（レーザービームも用いられることがあるが、ここでは省略する）。現在の主流装置は、Vector Scan(ベクター走査)と、VSB（Variable Shaped Beam）である。Vector Scanは、長方形の中を電子ビームで塗りつぶして行く方法である。VSBは、可変矩形ビームとも呼ばれ、適当な長方形内を一度に露光する方式で、スループットが良い。
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