半導体用語集
スピンドル
英語表記：spindle
スピンドルは、研磨作業や加工装置において、工具や被加工材などを回転駆動させるための回転軸である。スピンドルには大きく分けて接触方式、非接触方式の2種あり前者はころがり軸受（ボールベアリングなど）によるもの、後者は期待軸受や流体軸受を使ったものである。気体や流体による軸受を用いたスピンドルは、エア静圧スピンドル、油静圧スピンドル、油動圧スピンドルなどがある。剛性面と精度面において、それぞれ特徴がある。静圧スピンドルは回転精度が高く、超精密加工に適している。エアスピンドルはエア圧力により、剛性がそれほど大きくできないが、油圧スピンドルやころがり軸受を用いたスピンドルは剛性が高い。スピンドルは、回転工具を用いる加工には必要不可欠な機械要素である。
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