半導体用語集
赤外線アニール装置
英語表記：infrared annealer
白熱ランプなどを用いて得られる放射光を照射することにより短時間熱処理を行う装置。放射光照射の手段によりハロゲンランプアニール装置、アークランプアニール装置、グラファイトヒータアニール装置に分けられる。
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