半導体用語集
点欠陥
英語表記：point defect
1個のみ、またはある場合には複数個の格子部位で結晶の対称性が損なわれた欠陥または局所的みだれのこと。原子が格子点にない空孔タイプトと、格子点の間に余分な原子が入った格子間原子タイプがある。
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