半導体用語集
プラズマ薄膜化法
英語表記：plasma assisted thinning method
Siウェーハや石英ガラスなどの各種材料の超高精度の平坦度を要求される薄い板を加工する方法として、表面状態を測定しながら、局部的にプラズマでエッチングして高精度の加工をする方法。
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