半導体用語集
プラズマ損傷
英語表記：plasma damage
プラズマを照射することによる損傷。これらは大別して、次の３種に分かれる。
（1）電極近傍に発生するイオンシースにより加速されたイオンが、ウェーハに衝突することによる被エッチング表面の結合破壊。
（2）放電に伴うプラズマ発生のうち、特定の波長がウェーハに照射されることにより起こる、いわゆる照射損傷。
（3）プラズマ中の荷電粒子の蓄積による薄い絶縁膜（ゲート酸化膜など）の静電破壊。
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