半導体用語集
アモーファス
英語表記:Amorphous
アモーファス(非晶質)とは厳密には結晶構造を持たない固体状態を指し、通常のセラミックやガラスなどはアモーファスである。Siでは、多くの場合、極めて狭い範囲で規則的結晶状態を持つ。一般にはこの結晶粒の大きさがナノメーター程度までをアモーファスと呼んでいる。通常、アモーファスSiの場合は数多く存在する未結合手を水素、あるいはフッ素で終端し、安定化を図っている。アモーファスSiは液晶TV(LCD)や有機ELのピクセルを駆動する薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:TFT)や太陽電池に用いられている。
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