半導体用語集
カップ温湿度調整
英語表記：cup temperatureーhumidity controller
膜厚均一性を精密に制御するために、塗布処理中のウェハ近傍雰囲気の温湿度を一定に保持する機能。コータカップ外径とはば同寸法の吹き出し口をコータカップ直上に設置し、レジスト塗布中ウェハ温度や、ウェハ近傍の雰囲気の温湿度を一定に保持するのに十分なエアーを供給する。この機能により、コータカップやスピンチャックの温度も一定に保たれる。
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