半導体用語集
低速電子線回析法 LEED
英語表記：low energy electron diffraction method
5～500電子ボルト（eV）程度の一様なエネルギーの電子が用いられ、表面で散乱され、そのエネルギーを失っていない散乱電子のみを選択的に加速、蛍光版の上に回析像を結ばせる方法。単結晶の原子構造を研究するための技術。
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