半導体用語集
寸法シフト
英語表記：measure shift
一般に寸法シフトは、寸法変換差（CDロス）ともいわれている。寸法シフトは、エッチング前のエッチングマスクの線幅W1から完成した被エッチング材料の線幅W2を引いた値として求められる。寸法シフト＝W1ーW2 。
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