半導体用語集
静電チャック
英語表記：electrostatic chuck
試料台の上に誘電層を設け、試料台とウェーハの間に電圧を印加し、両者の間に発生したクーロン力によってウェーハを吸着する機構。ウェーハの保持及び温度制御のために試料台、搬送系などに用いられる。
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