半導体用語集
鏡面ウエーハ 表面検査装置表面LSM検査装置
英語表記：laser surface scanner light scattering measurement system
ウエーハ表面にレーザなどの光を照射しｈようめんか、ウェーハ表面の異物や微粒子の大きさ、密度分布などを測定する装置。特に表面から500nm程度までの深さまでに存在する結晶欠陥の測定も可能な装置をLSM表面検査装置という。
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