半導体用語集
疎水性
英語表記：hydrophobicity
水分子と親和性が小さい性質のこと。固体表面においては、水でぬれにくい性質をいう。水でぬれにくい、または有機溶媒でぬれやすい固体表面は疎水面または親油面と呼ばれ、空気中での水の接触角で25°以上として区別される。水分子を排除し、水となじみにくい原子団のことを疎水基（親油基）といい、シリコンウェーハでは、フッ酸で自然酸化膜を除去した表面など水素で終端されている表面において疎水性を示す。
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