半導体用語集
低圧式吸着型ガス供給システム
英語表記：safety delivery system
容器内の充填剤にガスを物理吸着させたもの。装着側チャンバとの圧力差によりガスが吸着剤から脱離し、供給される。充填圧力は1気圧程度だが、従来の同容量のガスソースに比べて5～10倍量のガスソースに比べて5～10倍量のガスを供給できる。
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