半導体用語集
クラスタ・イオンビーム蒸着装置
英語表記：ionized cluster beam evaporation system
高真空中で、102～103個の原子の集まったクラスタをイオン化し、加速してウェーハに衝突堆積する装置。蒸発源はクラスタ蒸発源で蒸発セルの蒸気出口を小さいノズルにしてセルの内と外の圧力差を大きくして噴出させる。この時、蒸気が断熱膨張する過程でクラスタが生成する。クラスタのイオン化は、熱電子放出フィラメントと陽極を用いて電子衝撃により行う。
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