半導体用語集
A欠陥
英語表記：A-defect
A欠陥は成長速度の遅いFZ-Si結晶中で観察された過剰な格子間シリコン原子（international silicon）が原因の二次欠陥で、スワール状に分布する。欠陥の正体はTEMによりバーガースペクトルｂ=a/2＜110＞の侵入型転位ループで、1～2μmの転位ループや、数10～数100nmの円盤状形状を持つ、複数枚の過剰なSi｛111｝めんであることが確認されている。FZ-SiのA欠陥はCZ-SiのR-SFと対応する。
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