半導体用語集

エッチング終点検出

英語表記:etching end point detection

エッチング処理の終点を自動的に検出すること。検出方法としては、プラズマ中の活性種(ラジカル)やイオンからの発光強度の変化を用いた発光分光法が主に用いられている。


関連製品

「エッチング終点検出」に関連する製品が存在しません。

関連用語

関連特集

「エッチング終点検出」に関連する特集が存在しません。




会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。