半導体用語集
エッチング終点検出
英語表記：etching end point detection
エッチング処理の終点を自動的に検出すること。検出方法としては、プラズマ中の活性種（ラジカル）やイオンからの発光強度の変化を用いた発光分光法が主に用いられている。
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