半導体用語集
研磨資材
英語表記：consumables
研磨剤、研磨材、研磨布などの消耗資材の総称。CMPにおいてはポリシングスラリー、研磨布がこれに当たる。一般的にいって、CMPのCOO（Cost Of Ownership）に占める消耗資材の比率は高い。このため、ポリシングスラリーの改良、リサイクルや研磨布のドレッシング方法の改良など、ポリシングレートの向上、研磨布の寿命向上に繋がる技術開発がCMPの生産性を上げる上で重要な課題となっている。
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