半導体用語集
ふっ酸モニタ
英語表記：hydrogen fluoride monitor
ウェーハ洗浄に用いるための超純水で希釈したふっ化水素酸の濃度監視用モニタ。測定方法はふっ素樹脂モールド製の電磁誘導式導電率電極を用いて検出する。測定範囲は0～5％のものがある。モールド用のふっ素樹脂には発塵の少ないPFAを用いる。
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